中國微影技術新戰局：LDP 挑戰 EUV 壟斷地位？

全球半導體技術競爭白熱化，中國力推 LDP 技術破局

在半導體製造領域，微影技術至關重要。隨著摩爾定律推動晶片微型化，極紫外微影（EUV）成為 5 奈米及以下先進製程的關鍵。然而，美國對中國的技術封鎖使得中國無法取得荷蘭艾司摩爾（ASML）公司的 EUV 設備，促使中國積極發展雷射誘導放電電漿（LDP）技術，試圖突破微影瓶頸。

EUV 技術：先進製程的基石

EUV 微影技術使用波長 13.5 奈米的極紫外光來蝕刻微細電路，透過高功率雷射轟擊錫滴產生電漿，進而發射 EUV 光。該技術可製造 5 奈米、3 奈米甚至更先進的晶片，並應用於人工智慧、5G、高效能運算等領域。然而，EUV 設備造價極高，單台機台價格可達 1.7 億美元，且功耗高達 1 兆瓦，導致生產成本居高不下。

LDP 技術：中國的突破口？

面對技術封鎖，中國正在研發 LDP 技術，試圖建立國產 EUV 系統。LDP 利用雷射啟動電漿，並透過電極放電來進一步激發 EUV 光，相較於 ASML 採用的雷射生產電漿（LPP）技術，LDP 結構更簡單、成本更低且能源效率更高。

根據報導，華為東莞工廠正在測試 LDP 系統，計畫 2025 年試生產，並於 2026 年實現量產。哈爾濱工業大學已成功研發出 13.5 奈米 LDP 光源，並計畫提升功率至 250 瓦，以達到商業規模量產的標準。

LDP vs. EUV：技術與成本比較

從表格可見，EUV 技術成熟且已實現大規模商業應用，而 LDP 則仍處於發展階段。若 LDP 成功突破功率與穩定性瓶頸，將可能成為 EUV 的潛在替代方案。

中國 LDP 發展的全球影響

若中國成功商業化 LDP，將能繞過美國技術封鎖，減少對 ASML 供應鏈的依賴，甚至在先進製程市場與台積電、三星競爭。此外，LDP 技術的發展可能對 ASML 的市場壟斷造成威脅，進一步影響全球半導體供應鏈格局。

然而，業界普遍認為 LDP 與 ASML 的技術差距仍然巨大，即使中國能夠自主生產 EUV 級晶片，要達到 ASML 累積數十年的精密技術仍需時日。此外，美國及其盟友可能加強對關鍵材料（如光阻劑、光罩基板等）的出口管制，進一步阻礙中國 LDP 技術的發展。

結論：LDP 能否挑戰 EUV？

目前，EUV 仍然是最先進半導體製程的標準技術，而 LDP 則作為中國發展自主半導體技術的策略選擇。若 LDP 能夠突破功率輸出、穩定性及產能問題，並建立完整供應鏈，則有可能成為未來先進製程的重要競爭者。

中國的 LDP 計畫不僅關乎技術突破，更涉及地緣政治和全球半導體供應鏈重組。無論最終 LDP 能否成功挑戰 EUV，這場微影技術競賽勢必將深刻影響全球半導體產業的未來發展。

參考資料：

1. Coherent in Semiconductor Manufacturing: EUV Lithography， https://www.coherent.com/news/blog/euv-lithography

2. EUV Lithography: Revolutionizing Chip Manufacturing - Giro's Newsletter, https://www.girolino.com/euv-lithography-the-future-of-chip-making/

3. China Invests €37 Billion to Develop Domestic EUV Lithography Systems, https://www.powerelectronicsnews.com/china-invests-e37-billion-to-develop-domestic-euv-lithography-systems/

4. Navigating the Future of Lithography: Challenges and Innovations in Semiconductor Manufacturing - The European Financial Review， https://www.europeanfinancialreview.com/navigating-the-future-of-lithography-challenges-and-innovations-in-semiconductor-manufacturing/

5. Weekly news roundup: China's EUV breakthrough and Chinese lawmakers' proposal for anonymous semiconductor purchases - DIGITIMES Asia， https://www.digitimes.com/news/a20250317VL200/euv-digitimes-asia-production-intel-huawei.html

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